ContourX-500光学轮廓仪是世界上的快速，非接触 式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有 的自动倾斜光学测头，可以完全编程并自动测试一定角度 范围内的表面特征，并能大程度地减少跟踪误差。 ContourX-500满足计量要求，具有Z轴分辨率和 准确性，并在更小的占地面积内提供了布鲁克的白光干涉 仪（WLI）落地式型号所有业界公认的优点。利用业界先 进的用户界面，ContourX-500可以直观地调用多种预设 好的滤镜和分析工具。借助其新的USI通用扫描模式，本产 品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些 场景涵盖了从精密加工表面和半导体工艺制程，到眼科和 MEMS器件的R＆D表征

先进的台式三维形貌计量设备 
„ 与放大倍率无关的业界*好Z轴分辨率
„ 自动化功能，包含带编码器的XY轴样品台、自动测
头倾斜和自动亮度调整
„ 更紧凑的气动减震台设计
测量与分析功能 
„ 易于使用的界面，可快速准确地获得结果
„ 广泛的自动化功能，可量身定制测量和分析程序
„ 广泛的滤镜和分析工具
„ 满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内
的定制化分析报告

大扫描量程 ≤10 mm
垂直分辨率1 <0.01 nm
水平分辨率 0.38 μm min (Sparrow criterion);
0.13 μm (with AcuityXR®
)
台阶高度准确性2 <0.75%
台阶高度重复性 <0.1% 1 sigma repeatability
大扫描速度 37 μm/sec (with standard camera)
样品反射率范围 0.05% to 100%
大样品倾角 ≤40° (shiny surfaces);
≤87° (rough surfaces)
样品高度 ≤100 mm (4 in.)
XY 样品台 150 mm (6 in.)
encoded automation stage
Z 轴聚焦 Automated
倾斜功能 ±5° automated in head
光学计量模块
Patented dual-color LED
illumination;
Single-objective adapter;
Optional automated or manual
turret;
Optional motorized or manual
discrete modules
物镜
Parfocal: 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X,
115X; LWD: 1X, 1.5X, 2X, 5X,10X;
TTM: 2X, 5X, 10X, 20X;
Bright Field: 2.5X, w5X, 10X, 50X
放大器 0.55, 0.75X, 1X 1.5X, 2X
摄像头
Monochrome (standard) or
color (optional); 5 MP with
1200x1000 data array
软件系统 Vision64 and VisionXpress Analysis
Software on Windows 10 OS; 64-bit
可选软件包
USI; Advanced PSI; Production
Mode; VisionMAP; AcuityXR®
; Optical
Analysis; SureVision; Film; MATLAB;
SDK, TCP/IP
自动测量功能
Advanced automated stitching,
scatter, and grid automation
standard with encoded motorized
XY stage; auto focus; auto intensity;
auto saving; on-fly analysis; and
recording into database
校准 Via NIST/PTB traceable step height
and lateral ruler standards
设备尺寸 480 mm (W) x 604 mm (D) x 700 mm
(H))
重量 70 kg
保修期 12 months
1
SiC标样上重复30次PSI模式测量的标准偏差。
2采用8 μm以上台阶标样