详情介绍

Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一套超高分辨
率的分析系统，能为包括磁性和非导电材料在内的各种样品提供
出色的样品制备和三维表征性能。Scios 2 DualBeam 系统的
功能可提高通量、精度与易用性，是用于满足学术、政府和工业
研究环境中科学家与工程师开展研究与分析需求的理想解决
方案。
高质量 TEM 样品制备
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对特征越来越小而复
杂性日益提高的样品进行高度局部化的表征。Scios 2 DualBeam 
系统采用新的技术，搭载简单易用、功能的
Thermo Scientific AutoTEM™ 4 软件（可选），加上我们的应用技
术，能够快速、轻松制备适合各种材料的位置特异性 HR-S/TEM 
样品。为了获得高质量的结果，需要用低能量的离子进行*终抛
光以*小化样品上的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™ 
HT 聚焦离子束 (FIB) 镜筒不仅可在高电压下提供高分辨率成像和
铣削，而且还有不错的低电压性能，从而能够创建高质量的 TEM 
薄片样品。
高质量的亚表层与三维信息
为了更好地理解样品的结构和性质，通常需要进行亚表层或三
维表征。Scios 2 DualBeam 系统可选装 Thermo Scientific Auto 
Slice & View™ 4 (AS&V4) 软件，能够全自动高质量采集多模态三
维数据集，其中包括用于获得材料对比度的 BSE 成像、用
于获取成分信息的能谱分析技术 (EDS) 以及用于获取显微结构和
晶体学信息的电子背散射衍射 (EBSD)。结合 Thermo Scientific 
Avizo™ 软件，它为高分辨率的三维表征和分析提供了纳米

级的独特工作流程解决方案

电子光学器件 NICol 镜筒是超高分辨率的非浸没场发射 SEM 镜筒，配备 ： • 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率分析 电流 • 60˚ 双物镜（带极片保护）支持倾斜较大的样品 • 自动加热的物镜光阑，可确保清洁和无触摸光阑孔更换 • 持续的电子束电流控制和经过优化的孔径角度 • 轻松安装和维护的电子枪 – 自动烘烤、自动启动、无需机械对中 • 双载物台扫描偏转 • 带电磁透镜和静电透镜的双物镜 • 集成的快速电子束束闸装置 • 用户指南和镜筒预设 • 短源寿命 ：24 个月 电子束分辨率 工作距离 • 在 30 keV (STEM) 下，为 0.7 nm • 在 1 keV 下，为 1.4 nm • 1 keV 时为 1.2 nm，配备电子束减速* 电子束参数空间 • 电子束电流范围 ：1 pA - 400 nA • 实际着陆能量范围 ：20* eV - 30 keV • 加速电压范围 ：200 V - 30 kV