详情介绍

 原子力显微镜Park NX20
可满足各种测试需求
Park NX20可以满足科研工作者需要的各种扫描模式，并能满足您的所有研究需求。
表面粗糙度测量
■真正非接触模式
■轻敲模式
电学性能测量
■导电AFM(ULCA和VECA)
■静电力显微镜(EFM)
■压电力显微镜(PFM)
■扫描电容显微镜(SCM)
■扫描开尔文探针显微镜(SKPM)
■扫描电阻显微镜(SSRM)
■扫描隧道显微镜(STM)
■光电流显微镜(Tr-PCM)
机械性能测量
■力调制显微镜(FMM)
■力-距离(F-D)曲线
■力谱成像
■侧向力显微镜(LFM)
■纳米压痕
■纳米刻蚀
■相位成像
热特性
■扫描热感显微镜(SThM)
磁特性
■磁力显微镜(MFM)
100 μm x μm扫描范围的XY平板扫描器
 原子力显微镜Park NX20XY平板扫描器，采用压电堆栈设计，减少传统扫描过程中XY的正交影响
，具有高速的影响频率，实现样品奈米级扫描。
高速Z轴扫描器，扫描范围达15μm
高强度压电堆栈和饶性设计，标准Z轴扫描器的共振频率大于9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴扫描速率不低于48mm/秒。 Z轴大扫描范围可从标准的15μm扩展至30μm(长范围Z扫描头)。
低噪声XYZ位置传感器
低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。
集成编码器的XY自动样品载品
编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，
从而可控制样品测量位置。
XY马达动工作时分辨率为1μm，重复率为2μm。
Z马达运动的分辨率为0.1μm，重复率为1μm。
自动多点样品扫描
借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，
 原子力显微镜Park NX20以下是它的工作流程：
1.扫描成像
2.抬起悬臂
3.移动驱动平台到设定位置
4.进针
5.重新设定位置扫描成像

 原子力显微镜Park NX20该自动化功能大大减少扫描过程中人工的移动样品，从而缩短测试时间，提高生产率。
操作方便的样品台
独特的头部设计，可使用从侧面操作样品及探针，
根据所选择样品台的行程范围，用品在样品台上可放置的样品直径200mm。
用于拓展扫描模式易插拔扩展槽
你只需要将可选模块插入扩展槽，便可激活拓展扫描显微镜模式。
得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高
同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统
擷取22.PNG定致物镜配有超长工作距离(50mm,0.21的数值孔径，1.0μm的分辨率)，带来的镜头清晰度。同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面找寻找测试区域，物镜分辨率为0.7μm。得益于CCD的传感器，在获得较大视场的同时，但分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。
扫描头滑动嵌入式设计
你只需滑动嵌入燕尾导执便可轻松更换原子力显微镜扫描头。
该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无须调节激光位置，
激光自动投射在针尖上。借助于乡优异的四象限检测器，
显微镜可**成像并可准确测定力，距离曲线。
自动Z轴移动和聚焦系统
高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，
由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。
高速24位数字电子控制器
所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。
该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪音设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成象和电压、电流测量的选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方式
 原子力显微镜Park NX20XY.Z轴检测器的24位信号分辨率
■XY轴的分辨率为0.003nm (50 μm XY扫描器)
■Z轴的分辨率为0.001nm (50 μm Z扫描器)
嵌入式数字信号处理功能
■三个锁相放大器
■探针弹簧系数校准(热方法)
■数字化Q控制
集成式信号端口
■专用可编程信号输入/输出端口
■7个输入端口和3个输出端口
Park NX20
技术参数
扫描器
XY扫描器
闭环控制XY平板扫描器
扫描范围：100μm x 100μm
50μm x 50μm
25μm x 25μm
20位位置控制和24位位置传感器
Z扫描器
导向强力Z扫描器
扫描范围：15μm
30μm
20位位置控制和24位位置传感器
视场&CCD
同轴光源设计
10倍光学物镜和数码放大
光学物镜视场：840μm x 630μm
CCD：5MP
光学物镜
10X(0.21 NA)超长工作距离镜头的物镜
20X(0.42 NA)高分辨率，长工作距离镜头的物镜
软件
SmartScan
专用系统控制和数据采级软件
智能扫描模式
通过外部程序控制脚本级别(选配)
NXI
AFM数据分析软件
电性能
信号处理
ADC:18通道
ADC通道(64MSPS)
24-bits ADC的X,Y和Z扫描器位置传感器
DAC:12通道
ADC通道(64MSPS)
20bits DAC的X,Y和Z扫描器定位
数据量:4096X4096像素
集成功能
3通道数字锁相放大器
探针弹性系数校准(热方法)
数据Q控制
外部信号访问
20个嵌入式舒输入/舒出口
5个TTL输出：EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias
选项/模式
成像模式
■真正非接触模式
■接触模式
■侧向摩擦力显微术(LFM)
■相位成像
■轻敲模式
电学特性测量
■扫描电容显微镜(SCM)
■导电原子力显微镜
■静电力显微镜(EFM)
■压电力显微镜(PFM)
■扫描开尔文探针显微镜(SKPM/KPM)
■压电力显微镜PFM
一般特性
■磁力显微镜(MFM)
■扫描热感显微镜(SThM)
■力一距离(F-D)曲线
■扫描隧道显微镜(STM)
■力调制显微镜(FMN)
■纳米压痕
■纳米刻蚀
■纳米操控
选项
■样品基座
■具有温控性能的隔音罩
■液体探手
■液池
■温控台
■外部偏置模块
■信号获取模块
 原子力显微镜Park NX20运动位移平台
XY行程范围：150mm(200mm选配)
Z行程范围：25mm
XY载台马达位移机械分辨率为1μm,重复率为2μm
Z向马达位移机械分辨率为0.1μm,重复率为1μm
样品基座
样品*大尺寸：150mm(200mm选配)
真空样品吸附