一

主机参数

设备尺寸

1400 x 800 x 1300 mm (LxWxH)

重    量

约260KG

二

真空系统

1

真 空 泵

真空抽速 24m3/h  油泵，干泵

2

真 空 度

≤ 0.1mbar，腔体真空度值实时显示，并可控制和调节。

三

气路系统

1

气路

氮气在 3bar压力下流量到 10slm，带电磁阀控制的 MFC（气体质量流量控制器）。可控制工艺反应气体和保护气体的流量。

2

气路

甲酸在 3bar压力下流量到 10slm，带电磁阀控制的 MFC（气体质量流量控制器）。可控制工艺反应气体和保护气体的流量。

3

气路

纯氢气/氮气在 3bar压力下流量到 30slm，带电磁阀控制的 MFC（气

体质量流量控制器）。可**控制工艺反应气体和保护气体的流量。

四

系统

1

腔体泄露报警功能

能在真空失效时产生报警

2

气路供压报警功能

能在气路供压低下时产生报警

3

腔体过压报警功能

能在腔体过压时产生报警

4

氢气**功能

设备具有氢气（泄露）保护系统和氢气尾气处理系统

五

加热系统

1

加 热 板

带温度补偿的高精度加热棒和注入式的不锈钢冷却水管的加热/冷却平板，升温速率为 50℃/min，*高降温速率 140℃/min；加热板平整，长期使用不变形。

2

超温保护系统

完全充足的超温保护系统，带双重和独立的超温保护模式

3

加热板数量

1块

4

加热板尺寸

≥430mm*252mm

5

加热板可用面积

加热板410mm*230mm

6

空间高度

加热板平面与顶部距离约≥150mm

7

加热板材料

紫铜加热板

8

工作温度范围

20℃~450℃

9

温度控制精度

≤±0.5℃

10

温度均匀性

加热板水平面温度均匀性≤±0.5%。

11

电力供应

三相 380V 50Hz

12

功率

设备全功率运行时，功率≤10KW

六

控制系统

1

测温模块

该设备的加热板带有两个热电偶，一个用来监控加热板中央的温度， 一个用来监控加热板边缘的温度。热板的工艺温度都通过 PID 进行控制。设备共配置六个热偶。

七

CMC-控制系统

1

数据记录储存记录

具有不间断的实时监控和数据记录系统，用于不间断的实时监控和记录、保存所有工艺和设备参数。

2

具有工艺保护和报警系统

包括真空系统和温度系统，且能同时监控工艺腔温度、冷却水温度、功率器件温度，在温度超过预设值时报警并记录故障。

3

具备程序编辑功能和可视化触摸操作界面

能实现所有工艺曲线的自动生成，能对工艺程序进行编辑，能根据具体工艺要求提供不同时段的真空、工艺气体反应、惰性气体保护等操作，并能对所有真空、各种气体流量、温度等参数进行编程控制和调节。

4

工艺控制系统

配备能对工艺参数进行控制的工艺控制系统，能够修改工艺路径和保存菜单，也可实现编程设置输入和保存。

八

冷却系统

1

冷却系统

自带有的热交换器，用于设备内闭环冷却水的冷却和热交换，为水冷系统提供相应的冷却水，有效控制循环水温度，保护水冷系统。进水温度 15-25℃，出水温度小于 50℃。

九

附加要求

1

工作时间

室温环境下可连续 24h 工作。

2

远程控制

支持互联网远程操控诊断。